• <abbr id="mwuc0"></abbr>

    <ul id="mwuc0"><sup id="mwuc0"></sup></ul>
  • 

  • 




    
	
    
    	   
        
    
          
          
    17384530128
    
        
         
        
        
        
                
        
    
    
    

    







    
	
    
    技術文章
    TECHNICAL ARTICLES
    

    




    
    
    
                
                
        
    當前位置：首頁技術文章微流控芯片的光刻工藝和產品特點說明
                
        
    
    
    

    




    
    
    
    	
    微流控芯片的光刻工藝和產品特點說明
    
        
    
        	更新時間：2022-10-21點擊次數：1875
        
    
        
    
        	 　　微流控芯片的光刻工藝：
    　　光刻是用光刻膠、掩模和紫外光進行微制造，工藝如下：
    　　（a）仔細地將基片洗凈；
     
    　　（b）在干凈的基片表面鍍上一層阻擋層，例如鉻、二氧化硅、氮化硅等；
     
    　　（c）再用甩膠機在阻擋層上均勻地甩上一層幾百A厚的光敏材料——光刻膠。光刻膠的實際厚度與它的粘度有關，并與甩膠機的旋轉速度的平方根成反比；
     
    　　（d）在光掩模上制備所需的通道圖案。將光掩模復蓋在基片上，用紫外光照射涂有光刻膠的基片，光刻膠發生光化學反應；
     
    　?。╡）用光刻膠配套顯影液通過顯影的化學方法除去經曝光的光刻膠。這樣，可用制版的方法將底片上的二維幾何圖形精確地復制到光刻膠層上；
     
    　?。╢）烘干后，利用未曝光的光刻膠的保護作用，采用化學腐蝕的方法在阻擋層上精確腐蝕出底片上平面二維圖形。
     
    　　微流控芯片的產品特點：
    　　提供真空環境，提高成功率
     
    　　采用真空熱壓系統，可根據不同材料、不同芯片通道寬度、深度設定壓力、溫度、時間，以達到熱壓及鍵合要求。
     
    　　控溫準確，面內熱分布均勻
     
    　　設備使用恒溫控制加熱技術，實現溫度精確控制；鋁合金工作平臺，上下面平整，熱導速度快、熱導均一。
     
    　　適用于多種尺寸芯片加工，實驗成本低
     
    　　設備加熱鍵合面積大，涵蓋常用尺寸的微流控芯片。
     
    　　參數精準可調
     
    　　該設備可針對不同材料設置鍵合溫度、壓力與真空度，精準低偏差。
     
    　　操作靈活簡單，上手快
     
    　　工作平臺操作方式為上下芯片手工對準貼合，自動加壓鍵合。
    
        
    
        
    
    

    




    
	
    
        
    
    
    
    
    
        
    
        	
    熱線電話：17384530128
    
            
    
            	
      
                	
      • 
                    
      • 
                    
      •                     
                    
      
                
    
            
    
        
    
        
    
            
    掃描微信號
    
        
    
        
    
        
    
          
    Copyright © 2025 納智達（上海）納米技術有限公司 版權所有    備案號：滬ICP備2022020120號-1
    
          
    技術支持：化工儀器網    管理登錄    sitemap.xml
    
        
    
    
    

    







 
  



主站蜘蛛池模板：
97精品久久天干天天天按摩|
国产女人精品视频国产灰线|
嫩草伊人久久精品少妇AV|
巨大黑人极品VIDEOS精品|
日韩精品一区二区亚洲AV观看|
亚洲一二成人精品区|
日韩蜜芽精品视频在线观看|
久久亚洲国产午夜精品理论片|
亚洲精品无码国产|
国产成人精品精品欧美|
久久国产美女免费观看精品|
久久精品国产99国产精品澳门|
精品少妇无码AV无码专区|
久久亚洲av无码精品浪潮|
精品九九人人做人人爱|
亚洲精品美女久久久久99|
国产精品视频全国免费观看|
国产一成人精品福利网站|
亚洲国产精品一区二区成人片国内|
精品精品国产理论在线观看|
99久久人人爽亚洲精品美女|
国产精品夜色一区二区三区|
久久66热人妻偷产精品9|
男女男精品视频网站在线观看|
91亚洲精品自在在线观看|
国产综合精品女在线观看|
无码人妻精品一区二区三区99不卡|
国产精品视频全国免费观看|
99热这里只有精品国产66|
久久久国产精品|
在线精品国产一区二区|
国产精品无码成人午夜电影|
久久精品国产亚洲AV麻豆网站|
亚洲精品国产字幕久久不卡
|
九九热在线视频观看这里只有精品|
老司机午夜精品视频资源|
精品一区二区无码AV|
欧洲精品视频在线观看|
国产精品9999久久久久|
无码日韩精品一区二区免费|
一本一本久久a久久精品综合麻豆|